미니 삼성 4LPE에 CB Over RX 적용되려나보네요.
- 흡혈귀왕
- 조회 수 869
- 2021.10.20. 14:40
5LPE부터 CB on RX Edge 옵션이 생겼고 (필수는 아님)
TSMC도 그 발전형인 CB Over RX 도입한다고해서
삼성은 언제하나 언제하나 말 많았는데
4LPE부터 적용되려나봅니다.
일단 대각선으로 셀 면적을 줄이는 기술입니다.
상당히 난이도가 높은 기술이라는데..
4LPE에
CB Over RX + EUV듀얼패터닝 적용이 맞다면
엑시2200 수율이 별로라는것도 이해가될 부분입니다.
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이 기술은 순전히 면적감소만을 위한 기술인가요?