소식 TSMC, 2nm 연구개발 위해 EUV 장비 2대 구매
- 뉴스봇
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- 2020.06.09. 11:30
아직 2nm 공정 생산과 관련한 로드맵은 나오지 않았으나 2nm 전환을 위해 최근 고가의 EUV 리소그래피 머신 두 대를 구입했다는 소식이 monet.udn을 통해 전해졌다.
2nm 개발을 위한 추가 장비 구매 비용은 기존 예산 규모에 영향을 미치지 않도록 추가 편성됐다.
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