미니 intel & TSMC, IEDM에서 CFET 성과 발표예정
- 좌지우건
- 조회 수 323
- 2023.10.12. 20:15
- intel
@ Demonstration of a Stacked CMOS Inverter at 60nm Gate Pitch with Power Via and Direct Backside Device Contacts.
위 : 3층 GAA 구조 NMOS
아래 : 3층 GAA 구조 PMOS
CPP : 60nm
PowerVia 적용
vertically stacked dual-S/D epitaxy 적용
N/PMOS을 연결하는 dual metal work function gate stacks 적용
depopulation 방법론 소개
; 해당 기술을 이용해 보다 심플하게 SRAM 구현가능
- TSMC
@ Complementary Field-Effect Transistor (CFET) Demonstration at 48nm Gate Pitch for Future Logic Technology Scaling.
위 : 1층 GAA 구조 NMOS
아래 : 1층 GAA 구조 PMOS
CPP : 48nm
single metal gate
on/off current ratio of six orders of magnitude 달성
90% 이상의 FET 생존율 달성
댓글
0