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모바일 반도체 세정하는 과산화수소 생산 효율 8배 높일 촉매 개발

반도체 세척 등 산업계에 두루 쓰이는 과산화수소의 생산 효율을 대폭 높일 수 있는 방법이 개발됐다. 기초과학연구원(IBS) 나노입자 연구단의 현택환 단장(서울대 교수) 등은 산소와 물만 이용해 친환경적으로 과산화수소를 생산할 수 있는 전기촉매를 개발해 생산 효율을 최대 8배 높일 수 있게 됐다고 14일 밝혔다.

  

과산화수소는 멸균이 필요한 의료현장, 폐수 처리, 불순물 제거가 필요한 반도체 공정 등 산업 전반에서 폭넓게 사용된다. 특히 반도체 공장에서는 고순도 과산화수소를 필요로한다. 치약이나 주방세제,종이 등 생활용품을 만드는데도 필요한 원료다. 과산화수소는 구성요소가 수소(H)와 산소(O)로만 이뤄져 있기 때문에 이상적으로는 수소와 산소, 그리고 물을 이용해 합성이 가능하다.  

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