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삼성전자, 2023년부터 EUV공정에 펠리클 대량 투입

삼성전자가 오는 2023년부터 반도체 극자외선(EUV) 공정에 펠리클을 사용할 계획이다. EUV 공정을 활용해 본격적인 대량 생산 체제를 구축하기 위해서다.    

 

반도체업계 관계자는 20일 "삼성전자가 내부 계획에 따라 2023년 말부터 펠리클을 대량 양산에 사용할 계획"이라고 말했다. 업계에서는 삼성전자가 ASML 협력사인 미쓰이화학의 펠리클을 사용할 가능성이 큰 것으로 보고 있다. 

 

 

 


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