SK하이닉스가 세정 공정에 쓰이는 삼불화질소(NF3)를 지구온난화지수가(GWP)가 낮은 가스로 대체한다. 일부 공정에는 삼불화질소를 불소가스(F2 Mix)로 대체한 것으로 확인됐다. SK하이닉스가 최근 발간한 '2024 지속가능경영보고서'에 따르면 삼불화질소를 GWP가 낮은 대체 가스로 전환하기 위한 평가를 진행했고, 2023년부터 일부 공정에 적용하고 있다. 이 가스 중 일부가 불소가스인 것으로 파악됐다. 삼불화질소는 반도체 세정 공정에 쓰인다.


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