일본 미쓰이화학이 네덜란드 ASML의 극자외선(EUV) 노광장비에 적용할 마스크 보호용 펠리클(Pelicle)을 양산한다. 국내에선 펠리클 전문업체 에프에스티(FST), 마스크 전문 업체 에스앤에스텍이 개발 중이다. EUV 요소기술을 두고 한국과 일본이 치열한 경쟁을 펼치고 있다.지난 5월 31일 미쓰이화학은 ASML과 EUV 펠리클 사업 라이선스 계약을 체결했다고 공식 발표했다. EUV 펠리클 생산과 판매에 대한 권리를 확보하는 계약이다. 야마구치현 이와쿠니 오오타케에 공장도 새로 만든다. 내년 2분기 공장을 완공하고 2021년


기사 더 읽기