소식 삼성전자, 지구온난화 유발 'TOP 5' 가스 모두 대체제 개발 추진
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- 2022.05.18. 17:11
삼성전자가 지구온난화를 유발하는 CF(탄소·불소) 계열 가스 대체재를 개발하기로 했다. 유럽연합(EU) 등이 환경규제를 강화하는 추세에 맞춰, 반도체 공정에 쓰이는 가스 대체재 개발을 본격적으로 추진한다는 방침이다.
조윤정 삼성전자 마스터는 18일 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 온라인으로 주최한 'SMC Korea 2022'에서 이같이 밝혔다.
SMC Korea는 반도체 소재의 최신 기술 및 시장 동향, 발전 방향 등에 대해 논의하고자 마련된 행사다. 삼성전자에서 소재개발 R&D를 담당하고 있는 조윤정 마스터는 이날 '차세대 반도체 소자에 있어서의 소재의 기회와 도전과제'라는 주제로 발표를 진행했다.
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