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소식 EUV 패터닝 오류의 주범 '스토캐스틱스' …5대 칩메이커 중 4곳이 '이 기업' 기술에 의존한다
- 뉴스봇
- 조회 수 2552
- 2022.05.27. 21:07
"반도체 내부에는 무수한 콘택홀(기본 소자와 금속 배선의 연결 부분)이 형성되는데, 이 중 하나만 오류가 발생해도 반도체 전체 성능에 문제가 생깁니다. 프랙틸리아는 이런 오류를 발생시키는 모든 종류의 스토캐스틱스를 매우 세밀한 크기까지 측정할 수 있는 솔루션을 제공합니다."
크리스 A. 맥(Chris A. Mack) 프랙틸리아(Fractilia) 공동 설립자 겸 CTO는 최근 기자와 만나 프랙틸리아의 핵심 기술에 대해 이같이 설명했다. 크리스 CTO는 국내 고객사와 협력을 논의하기 위해 최근 방한했다.
미국 텍사스주에 본사를 둔 프랙틸리아는 최첨단 반도체 공정에서 '스토캐스틱스'를 고도로 정밀하게 계측 및 제어할 수 있는 솔루션을 개발하는 반도체 소프트웨어 업체다. 스토캐스틱스는 임의적이면서 반복적이지 않은 패터닝 오류를 뜻한다.
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