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글레이셔폭포

미니 강연 듣는데 9825 EUV는 Contact만 적용이라고 확인사살하시네요

EUV 개발 당시 삼성에서 계셨던 분 강연 듣는데 노트 10에 세계 최초 EUV 적용 칩 얘기하시면서 Contact Layer만 EUV 적용했다고 확인사살하시네요. 흡혈귀왕님 발 정보대로(https://meeco.kr/mini/27375767 댓글 참조) EUV 부분 도입된 과도기 공정일 거라 생각은 하고 있긴 했었지만 관련자가 직접 언급하는 걸 들으니 좀 느낌이 다르네요

11
댓글
11
1등 독고노인
2022.01.13. 18:01

쉽게 설명해주세영 ㅠㅠㅠㅠ 문돌이 울어요

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Raioh
Raioh 독고노인 님께
2022.01.13. 21:28

위아래로 좁게 뚫리는 구멍 모양의 패턴을 컨택이라고 합니다.

게이트는 여러가지 방식으로 패터닝 후 크기조절을 추가로 할 수 있는데 컨택은 그렇게 하면 패턴이 벌어지는등의 문제가 생겨서 처음부터 제대로 뚫어야 합니다.

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2등 회로
2022.01.13. 18:34

음 완벽히 이해했어 짤

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글레이셔폭포
글쓴이
글레이셔폭포 포베글리아 님께
2022.01.13. 20:39

저 강연이 서울대 재료공학부쪽 주최로 열린 건 맞는데 저는 아는 분이 서울대 재료공학부라 그 분한테 줌 링크 받아서 들어간 것이지 서울대 재료공학부 소속은 아닙니다.

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데리하
데리하 글레이셔폭포 님께
2022.01.13. 20:42

근데 막 들어가도 되나요?

전에 강연들을때 강사분 마다 다르긴 하지만 자료도 파일로 미리 안주고 현장배부하던데요

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폴드삼을쓰는겁니다 데리하 님께
2022.01.13. 23:07

ㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋ안되는게 맞죠 대게

되게해줬나본데요 너무 당연하게 이야기하시는거보면

[폴드삼을쓰는겁니다]님의 댓글을 신고합니다. 취소 신고
좌지우건
좌지우건
2022.01.13. 19:38

대충 저기 Contact 부분을 패터닝하기 위해 EUV 썼다는 의미

[좌지우건]님의 댓글을 신고합니다. 취소 신고
gamma
gamma
2022.01.13. 20:30

그 부분이 정확하게 패턴뜨는게 제일 중요한데라서 원래 EUV 도입됐을 때도 가장 먼저 적용하는 레이어입니다.

보통 선폭 작은거만보고 게이트쪽에 적용하는걸로 아는데 거기는 공정 마진이 그렇게까지 빡빡한 편이 아니라서 EUV 우선순위에서 밀리고 쿼드패터닝으로 커버치고 있고요.

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폴드삼을쓰는겁니다
2022.01.13. 20:34

원래 거기가 존나 중요하거든요. 최근에 CB on RX니 뭐니 하는것도 죄다 Contact임

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