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Aimyon

미니 삼성 EUV 펠리클 자체개발 소식

  • Aimyon
  • 조회 수 1340
  • 2023.01.10. 17:36

https://m.etnews.com/20230110000158

 

투과율 88%

지난해 말 개발완료

 

1462437_20211012162752_890_0001.jpg

 

2021 파운드리 포럼에서 언급한지 1년만에 나왔네요. 생산성 수율 개선에 도움 좀 되겠습니다.

 

협력사 펠리클이랑 멀티벤더로 섞어 쓸듯 하네요.

14
댓글
10
Aimyon
글쓴이
Aimyon 흡혈귀왕 님께
2023.01.10. 17:52

TSMC는 EUV 도입 초기부터 펠리클 가지고 막 자랑했는데 ㅠㅠ 어찌됐든 삼성도 나오긴 나왔네요

[Aimyon]님의 댓글을 신고합니다. 취소 신고
전자개복치
전자개복치 흡혈귀왕 님께
2023.01.10. 18:17

최근 수율향상 소식이랑 저게 혹시 관련이...

1
[전자개복치]님의 댓글을 신고합니다. 취소 신고
패주초
2등 패주초
2023.01.10. 17:49

뭔가를 하고있는거 자체가 보기좋네요

1
[패주초]님의 댓글을 신고합니다. 취소 신고
패주초
best 패주초 패주초 님께
2023.01.10. 17:55

근데 저 기사가 시사하는 바가 뭔가요?

국산화해서 스냅드래곤ㅡ엑시 마냥 단가비용을 줄일수있다는건지

아님 타사보다 우월한 펠리클을 개발해서 우위를 점할수 있다는건지?

5
[패주초]님의 댓글을 신고합니다. 취소 신고
3등 SoundbyAKG
2023.01.10. 17:52

대단하네요 벌써

[SoundbyAKG]님의 댓글을 신고합니다. 취소 신고
오꾸리
오꾸리
2023.01.10. 18:05

이제 펠리클 도입되면 수율을 확 끌어 올릴수 있을라나요?

[오꾸리]님의 댓글을 신고합니다. 취소 신고
포인트봇
포인트봇 오꾸리 님께
2023.01.10. 18:05
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전자개복치
전자개복치
2023.01.10. 18:09

88%면 굉장하군요. 90%가 곧 출시되긴 하지만...

저 정도면 수율 향상에 도움 많이 되겠네예

[전자개복치]님의 댓글을 신고합니다. 취소 신고
Aimyon
글쓴이
Aimyon 전자개복치 님께
2023.01.10. 18:20

최소요건이 88%이상인 것으로 압니다. 모 업체에서는 투과율 95% 짜리 그래핀 펠리클도 개발했다고...

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