미니 잡담: 캐논, (EUV아님) NIL 방식 5nm 노광장비 공개

Section31
조회 수 691
2023.10.17. 10:19

https://global.canon/en/news/2023/20231013.html

2023년 10월 13일, 일본의 사무기기 및 광학기기 제조 기업 캐논(Canon)은

나노임프린트 리소그래피(NIL) 방식의 노광장비인 FPA-1200NZ2C를 발표했습니다.

캐논에 따르면 이 노광장비는 최소선폭 14nm의 회로 패터닝이 가능하며,

이를 통해 5nm 공정 반도체 생산에 쓰일 수 있습니다.

캐논은 이를 바탕으로 10nm 선폭의 회로 패터닝 구현을 목표로 하며,

이것이 실현되면 2nm 공정 반도체 생산에 사용될 수 있을 것으로 보고 있습니다.

한편, 우리나라에서는 SK하이닉스가 캐논으로부터 NIL 방식의 노광장비를 도입하여

3D 낸드플래시 생산에 쓰일 수 있는지 테스트 중인 것으로 알려져 있습니다.(기사: 조선비즈)

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		12
								
1등ASTRAY
									2023.10.17. 11:48									
얘넨 매번 느끼지만 임프린트에 진짜 진심이에요..

					 1
									
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MiKor82
										 ASTRAY 님께
				
									2023.10.17. 13:21									
제대로 개발만 성공란다면 이론적으로 아주 조크든요.

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xclear
										 ASTRAY 님께
				
									2023.10.17. 15:28									
전력소모는 1/10이고 생산속도도 euv에 비해 압도적이니 되기만한다면야 천정부지로 치솟는 칩가격억제에 아주 도움이 될듯합니다

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ASTRAY
										 xclear 님께
				
									2023.10.17. 16:22									
마스크 닳는 문제랑 필 팩터 문제 해결안되면... 잉크젯 oled가 장점은 많은데에 거... 와 같은 상황이 되는거죠..

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2등Aimer
									2023.10.17. 12:47									
미국 동맹국인 일본이 중국에 노광장비를 판매할까요

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나르자
										 Aimer 님께
				
									2023.10.17. 13:10									
하지만.. 법적 금지를 안둔다면
많은 돈 앞에 무릎 꿇을 가능성도.....

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글쓴이Section31
										 Aimer 님께
				
									2023.10.17. 13:23									
일본은 80년대에 첨단 CNC를 소련에 판매한 적이 있습니다(...).
(일명 도시바-콩스버그 스캔들)

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3등xclear
									2023.10.17. 15:25									
이거 되기만하면 아주 혁명적일텐데말이죠..
euv는 사장..

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글쓴이Section31
										 xclear 님께
				
									2023.10.17. 15:34									
다만, 약점도 있는데 그것은 바로 불량률입니다.

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ASTRAY
										 Section31 님께
				
									2023.10.17. 16:24									
약점이 크죠. 마스터 몰드 수명이라던가... 필팩터 부족으로 인한 불량률...로 대표되는...
 
연구실 단위에서나 소규모 양산 쪽에 있어서는 충분하지만.. 대규모 단위 양산은.... 인 시점에서 잉크젯 oled화 되어간다고 보고 있습니다.
(옆 연구실은 애용하고 있어서 신기해 하는중입니다..)

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글쓴이Section31
										 ASTRAY 님께
				
									2023.10.17. 16:26									
우리나라에서는 SK하이닉스가 캐논으로부터 NIL 방식의 노광장비를 도입하여 3D 낸드플래시 생산에 쓰일 수 있는지 테스트 중인 것으로 알려져 있는데(기사: 조선비즈), 과연 테스트 결과가 어떻게 발표될 지 심히 궁금해지는군요. 크흠...

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ASTRAY
										 Section31 님께
				
									2023.10.17. 16:38									
오히려 10나노 언더로 가서 필팩터 문제가 해결될지도 하는 생각도 얼핏 들지만... PR 샤프니스가 중요하다 하면 그건 또 안될거란 생각이 들어서... (광학 리소랑 다르게 얘는 둥글게 찍히는 편이죠)

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영어공학과
									2023.10.17. 18:27									
역시 놀고있었던건 아니군요 ㄷㄷㄷ 과연 어디까지 끌어올릴지 궁금합니다.

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