미니 잡담: "EUV 없이 5, 3, 2nm 공정 구축 시 수율은?"

Section31
조회 수 977
2023.12.19. 15:37

DUV+SAQP로 5nm, 3nm, 2nm까지 시도할 시 예상 수율은 그래프를 보니 대략 이렇다고 합니다.

- 5 nm : 약 45% / EUV : 약 74 %

- 3 nm : 약 16% / EUV : 약 60 %

- 2 nm : 약 7.7% / EUV : 약 55 %

닛케이 기사에 따르면 SMIC(중국)의 목표는 2025년에 5 nm 대량양산인데, DUV+SAQP로

5 nm까지는 대량양산이 이론상 어느 정도 가능해보입니다.

물론 3 nm부터는 뭐...

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- 이후 플랜: UNKNOWN

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[Laptop]
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→ MacBook Air 15 M2 (2023년식)

		7
				
1등흡혈귀왕
		2023.12.19. 15:55					
오히려 E2200 초기 수율 생각하면
엄청 높아보이는데요

					 1
					
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글쓴이Section31
						 흡혈귀왕 님께
				
		2023.12.19. 15:56					
(KKㄴ... 아 아닙니다...)

					 1
					
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2등MiKor82
		2023.12.19. 16:30					
트슴 5나노 DUV 아니었나용?

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propeller
						 MiKor82 님께
				
		2023.12.19. 16:31					
N7까지 DUV고 N7P부터 EUV 아니었나요?

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MiKor82
						 propeller 님께
				
		2023.12.19. 16:33					
지금까지 DUV 선개발 EUV 후개발인 줄 알았네요 ㄷ

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글쓴이Section31
						 MiKor82 님께
				
		2023.12.19. 16:34					
TSMC 5nm는 EUV입니다. N7까지는 ArFi DUV이고, N7P/N7+부터 EUV...

					 1
					
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propeller
						 Section31 님께
				
		2023.12.19. 16:34					
아 이름이 헷갈리는데, 찾아보니 N7P는 DUV고 N7+나 N6가 EUV라고 하는군요

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