5일 로이터통신 등 외신에 따르면 마이크론 테크놀로지는 지난 30일(현지시간) 2021년 3분기(3~5월) 실적 발표에서 EUV D램용 장비 투자에 착수하겠다고 밝혔다. ‘EUV’(Extreme Ultraviolet)란 극자외선으로 불리는 짧은 파장(13.5nm, 10억분의 1미터)의 빛을 이용하는 기술로 반도체 원판(웨이퍼) 위에 회로선폭을 새기는 노광장비에 사용된다. 파장이 짧아 불화아르곤(ArF) 노광장비로는 불가능했던 7nm 이하 초미세 공정을 가능하게 하는 장비다. 


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