소식 이솔, EUV용 펠리클 투과율 검사장비 국내 첫 상용화
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- 2021.12.23. 21:13
EUV(극자외선) 솔루션 전문업체 이솔이 EUV용 펠리클의 투과율을 검사하는 장비를 국내에서 첫 상용화했다. 최근 주요 고객사 공정에 해당 장비를 납품한 것으로 파악됐다.
23일 업계에 따르면 이솔은 EUV용 펠리클 검사장비인 'EPTR'을 처음으로 고객사 공정에 설치했다. 해당 장비가 국내에서 상용화된 것은 이번이 처음이다.
EUV용 펠리클은 EUV 노광공정에서 포토마스크를 먼지로부터 보호해주는 초박막 필름 형태의 소모성 소재다.
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