버슘머트리얼즈코리아(현 머크)가 일본 트리케미칼래버토리(TCLC)를 상대로 제기한 ‘하프늄(Hf) 전구체(프리커서) 특허 무효심판’ 결과에 반도체 업계 관심이 쏠리고 있다. 특허심판 결과에 따라 국내 하프늄 전구체 산업은 물론 반도체 공급망 생태계에 적잖은 파장이 예상되기 때문이다. 만약 특허심판원이 버슘 측 주장을 받아들일 경우, 약 3000억원 규모의 하프늄 전구체 시장은 '춘추전국시대'를 맞을 것으로 전망된다. 27일 업계에 따르면 이르면 내년 2월 버슘이 국내 특허심판원에 제기한 ‘하프늄 전구체 특허 무효 심판


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