○중국의 노광 산업 육성- 현재 중국산 리소그래피의 발전은 지원정책에 힘입어 발전, 그 중 가장 근본이 있는 리소그래피 제조업체는 SMEE(上海微电子), 중국과학원장춘광학정밀기계물리연구소(中科院长春光机所 이하 장춘광기소), 화웨이 등 3곳- 그 중 SMEE는 2016년 90nm 노광기 출하를 완료했으며 현재 최첨단 장비는 SSA600/20단계 스캐닝 프로젝터 노광기- 2017년 '02 프로젝트(02专项)' 침지 리소그래피 핵심 기술 사전 연구 프로젝트를 수행하고 검수를 통과했으며 회사는 현재 ArFi DUV 노광기의


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