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소식 마이크론, 1c D램부터 몰리브덴·루테늄 적용

마이크론이 6세대(1c) 10nm급 D램 비트라인과 워드라인에 몰리브덴과 루테늄을 적용할 것으로 예상된다. 비저항을 낮추기 위해서다. 1a, 1b 등 D램 까지는 비트라인과 워드라인에 텅스텐이 사용됐다. 

 

최정동 테크인사이츠 수석부사장은 지난 30일 《디일렉》이 개최한 '2024 반도체 산업·테크 대전망 콘퍼런스'에서 "현재 시중에 나와있는 1a나 1b까지는 몰리브덴이나 루테늄을 사용하지 않았지만, 1c부터는 적용될 예정"이라며 "내년이나 내후년부터는 D램 일부 제품에는 비트라인에 몰리브덴, 워드라인에 루테늄을 사용할 것으로 예상된다"고 말했다. 

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