소식 TSMC, 7나노 매출 반영 시작…‘늦은 EUV’ 독일까 득일까
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- 2018.10.21. 13:00
삼성전자는 EUV(극자외선) 노광 공정 양산에 착수했으나 현재 TSMC는 기존 방식대로 불화아르곤(ArF)을... shs11@ddaily.co.kr 신현석(shs11@ddaily.co.kr) <저작권자 ⓒ 디지털데일리 무단전재-재배포금지>
원문출처 : http://www.ddaily.co.kr/news/article.html?no=173864
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