소식 세메스 세정장비 '로터스' 장영실상 수상
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- 2018.11.21. 10:45
반도체 디스플레이 제조 장비업체 세메스는 21일 자사 반도체 매엽식 습식 세정설비 로터스(LOTUS)가 산업기술상 IR52 장영실상을 수상했다고 이날 밝혔다.장영실상은 산업계 연구성과를 발굴, 독려하기 위해 과학기술정보통신부(주최)와 산업기술진흥협회(주관)가 1991년 제정했다. 1년 52주 동안 매주 한 개 제품씩 시상한다. 'IR52(Industrial Research, 52주)'라는 단어가 상 명칭 앞에 붙었다.세메스 로터스는 반도체 클린공정에서 웨이퍼 표면 박막물질이나 불순물(파티클)을 제거하는 장비다. 케미컬
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