○중국은 자체 기술로 리소그래피 장비를 개발했다는 사실에 상당한 의미를 부여.- 환구시보(環球時報) 보도와 함께 웨이보에도 이 같은 사실에 의미와 전망을 담은 글이 올라옴.- 중국과학원 이화학기술연구소의 쉬쭈이엔(許祖彦) 원사(院士) 등 검수팀 전문가 모두 "해당 장비는 365나노미터 광원파장 하에 단일노출 최고 해상도가 22나노미터에 달하는 것으로 말했다"고 밝힘.- 원리상 불가능했던 해상도 회절 한계를 극복, 고해상도이면서 면적도 큰 나노장비 연구개발(R&D)을 위한 새로운 노선을 수립했다고 자화자찬. 해외 특허 장벽도 피해갈


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