첨단 반도체 공정에서 초미세입자(파티클) 오염 측정 중요성이 커졌다. 화학재료와 공기, 가스, 물 등에 포함된 매우 작은 양의 오염물질조차도 제품 품질과 수율에 큰 영향을 미치기 때문이다.오염제어 기술업체 PMS의 주력품은 파티클 검출 장비다. 화학재료·초순수(UPW: Ultra Pure Water) 안에 들어있는 20나노 크기 파티클을 측정하는 켐-20(CHEM-20)과 UDI-20, 공기 중 10나노 크기 파티클을 측정하는 NPC 10 등이 대표적이다.2016년 선보인 켐-20은 화학재료와 초순수에서 20나노 크기 파티클을 검출


기사 더 읽기