반도체·디스플레이 증착장비 업체 주성엔지니어링이 '올인원'(All-In-One) 증착장비인 TSD(Time Space Divided·시공간 분할) 시스템으로 시장 공략에 나선다. 원자층증착에 최적화해 고품질 박막 증착이 가능한 제품이다.주성이 이번에 공개하는 TSD 시스템은 열(Thermal) 원자층증착(ALD), 플라즈마(PE) 원자층증착, 열 플라즈마 처리(IPT) 등을 하나의 하드웨어에서 모두 구현할 수 있는 장비다. 원자층증착 공법으로 웨이퍼 위에 얇은 박막을 균일하게 증착하려면 소스와 반응가스가 같은 시간에


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