소식 린텍코리아, 베이퍼라이저 주력 제품 VU-900 시리즈 전시
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- 2019.01.18. 21:45
린텍코리아(LINTEC KOREA)는 세미콘 코리아 2019에서 주력 제품인 VU-900 시리즈 베이퍼라이저(Vaporizer) 제품을 집중적으로 알릴 계획이다.베이퍼라이저는 단어 뜻 그대로 ‘기화기’를 의미한다. 반도체 디퓨전(Diffusion) 공정에서 액체 프리커서(Liquid Precursor)를 직접 기화시켜 가스로 만들고, 화학기상증착(CVD) 장비 진공 챔버로 공급하는 용도로 사용된다. 이를 통해 유전막을 생성할 수 있다.D램은 셀 커패시터 전하 저장 유무에 따라 0과 1을 구분한다. 커패시터를 만들 때는 전하가 너무
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