대만 파운드리업체 TSMC의 팹(Fab)14B에서 300mm 웨이퍼 수만장 규모의 불량이 28일 발생했다고 대만 중시전자보(中時電子報), 쥐헝망(鉅亨網) 등이 보도했다. 불량 웨이퍼 개수가 9만장까지 예측되는 가운데 불량원인으로 감광액이 거론되고 있다. 일본 신에츠화학과 JSR, 미국 다우케미칼 등 팹14B에 감광액을 공급하는 업체 중 다우케미칼 제품 불량이 유력한 것으로 대만 언론은 파악하고 있다. 다만 JSR은 이번 보도 이후 내부 확인 결과 자사 제품은 아니라는 결론을 내렸다.중시전자보에 따르면, TSMC측에선 처음 "불량 웨


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