반도체 웨이퍼 제조 장비·서비스 공급업체 램리서치(Lam Research)는 29일 자가 유지보수 장비를 사용해 최고 생산기록을 달성했다고 29일 밝혔다. 램리서치 식각공정 플랫폼으로 협력을 맺은 반도체 제조사는 1년간 중단 없이 장비를 가동하는 데 성공했다.반도체 공정에서 세정을 위한 가동 중단 시간은 식각 시스템의 생산성을 제한하는 가장 큰 요소다. 식각공정 모듈은 안정적인 성능 유지와 플라즈마 공정 중 부식된 부품 교체를 위해 월 또는 주 단위로 세정된다.식각공정 모듈은 주기적인 유지보수와 소모품 교체도 필요하다. 챔버를 열어


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