미니 전자신문발 EUV 펠리클 기사에 9825? 관련 내용이 있네요

다잊어야해욥
조회 수 401
2019.06.03. 20:08

삼성전자는 일부 애플리케이션 프로세서(AP) 양산에 EUV 공정을 도입하고 있다. 지금은 마스크만을 이용해 공정을 진행하는 것으로 알려졌다. EUV 마스크 비용이 5억원에 달해 매번 마스크를 갈아 끼우는 것이 업체에게 큰 부담이다.

1등 특이점

2019.06.03. 20:15

ASML마저 포기하다니 ㄷㄷ 무지 어려운 기술인데 일본의 세계탑급 소재기술력도 부럽네요 우리나라에서 하면 대박날듯.. 근데 저게 9825일지는.. 빨리 오피셜 나왔으면

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2등 범죄자호날두

2019.06.03. 21:44

마스크가 뭔지 항상 궁금했었는데

마스크에 먼더 새겨놓고 마스크를 따라서 새긴다는거네요

감사합니다

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씨드머니 범죄자호날두 님께

2019.06.04. 16:52

마스크에 패턴을 새겨넣으면 빛 -> 마스크패턴 ->웨이퍼에 패턴 새겨지는 방식인데 패턴에 꼭 필요한 마스크가 워낙 비싸서 오래 사용하려면 포토공정중에 오염되기가 쉬워서 보호용으로 펠리클(마스크 커버라고 생각하시면됨)을 씌워야되는데 만족할만 빛 투과율이 안나와서 당분간 펠리클

없이 euv설비 사용 예정인거 같네요

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3등 갤러리별

2019.06.04. 00:13

이게 예전 연장선 얘기로 보이는데

삼전lsi/파운드리가 직접 이와관련 양산장비들 생태계를 꾸린다는 것에 펠리클도 자사내에서 해결한다는 의지가 확고하다는 찌라시가 있었죠.

그래서 관련 기업들도 주가가 맥아리가 없구요

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