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다잊어야해욥

미니 전자신문발 EUV 펠리클 기사에 9825? 관련 내용이 있네요

삼성전자는 일부 애플리케이션 프로세서(AP) 양산에 EUV 공정을 도입하고 있다. 지금은 마스크만을 이용해 공정을 진행하는 것으로 알려졌다. EUV 마스크 비용이 5억원에 달해 매번 마스크를 갈아 끼우는 것이 업체에게 큰 부담이다.

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댓글
4
1등 특이점
2019.06.03. 20:15

ASML마저 포기하다니 ㄷㄷ 무지 어려운 기술인데 일본의 세계탑급 소재기술력도 부럽네요 우리나라에서 하면 대박날듯.. 근데 저게 9825일지는.. 빨리 오피셜 나왔으면

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범죄자호날두
2등 범죄자호날두
2019.06.03. 21:44

마스크가 뭔지 항상 궁금했었는데

마스크에 먼더 새겨놓고 마스크를 따라서 새긴다는거네요 

감사합니다

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씨드머니
씨드머니 범죄자호날두 님께
2019.06.04. 16:52

마스크에 패턴을 새겨넣으면 빛 -> 마스크패턴 ->웨이퍼에 패턴 새겨지는 방식인데 패턴에 꼭 필요한 마스크가 워낙 비싸서 오래 사용하려면 포토공정중에 오염되기가 쉬워서 보호용으로 펠리클(마스크 커버라고 생각하시면됨)을 씌워야되는데 만족할만 빛 투과율이 안나와서 당분간 펠리클

없이 euv설비 사용 예정인거 같네요

 

[씨드머니]님의 댓글을 신고합니다. 취소 신고
갤러리별
3등 갤러리별
2019.06.04. 00:13

이게 예전 연장선 얘기로 보이는데

 

삼전lsi/파운드리가 직접 이와관련 양산장비들 생태계를 꾸린다는 것에 펠리클도 자사내에서 해결한다는 의지가 확고하다는 찌라시가 있었죠.

그래서 관련 기업들도 주가가 맥아리가 없구요

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