6월 10일자 일본 전자부품 업계 동향미쓰이화학, ASML과 EUV 박막 라이선스 사업 계약(三井化学 EUVペリクル量産へ蘭社とライセンス契約を締結) | 일간화학뉴스미쓰이화학과 ASML이 EUV 사업에서 협력합니다. EUV 박막의 생산과 판매를 위한 라이선스 계약입니다. 미쓰이화학은 1984년부터 반도체 박막 제품을 만들어왔지요. EUV용 제품은 오오타케에 새 공장을 만들어 생산합니다. 내년 6월 공장이 완공되고 고객사 승인을 거쳐 2021년 2분기부터 양산을 시작합니다. EUV 생태계가 확산되는 양상입니다.[도요타 전기차 시장 공략]


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