윤준영 연세대학교 기계공학부 교수가 극자외선(EUV) 노광 장비 처리량 증대를 위한 ‘초고가속, 초저소음 마스크 스테이지용 모터 연구’ 성과를 인정받아 23일 인천 송도에서 개최된 ASML코리아 테크토크에서 ‘젊은 과학자’ 상을 수상했다.노광(露光, exposure)은 금속 설계 패턴이 새겨진 마스크(mask)에 빛을 쪼이고, 마스크를 투과한 빛은 감광액(photoresist)이 도포된 웨이퍼로 전사돼 회로 패턴을 형성하는 일련의 과정을 의미한다. 필름 사진을 현상하는 과정과 흡사하다.EUV 소스는 기존 불화아르곤(ArF) 소스와


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