euv채용의 가장큰 이유는 수율향상및 단가절감입니다

공정이 미세화될수록 배선의 폭이 작아지는데

기존 arfi방식으로는 한계가있어 해상력이 월등한 euv를 도입하는겁니다

tsmc같은경우 7nm에서 arfi의 한계를 극복하기위해

더블패터닝을 넘어선 쿼드패터닝을 도입했는데

그로인해 단가가 엄청나게 올라갔죠..

삼성은 쿼드패터닝안하고 8nm을 도입해서 7nm경쟁에서 뒤쳐진거구요

euv로인해 성능향상이 없는건아니지만 그건 부수적인효과고

삼성이나 tsmc나 처음부터 모든 부분에 euv를 쓰는것도아니고

tsmc만해도 부분euv사용한 7nm+와 미사용한 7nmp간 성능차이가 고작 3~4%수준입니다 ㅡ.ㅡ