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소식 삼성전자, EUV 공정 적용한 D램 양산 체제.. 고객사에 모듈 100만개 공급

삼성전자가 업계 최초로 D램에 EUV(극자외선) 공정을 적용해 양산 체제를 갖췄다. 삼성전자는 25일 보도자료를 통해 EUV 공정을 적용해 생산한 1세대(1x) 10나노급 DDR4 D램 모듈 100만개 이상을 공급하여 글로벌 고객의 평가를 완료했다고 밝혔다. EUV 노광 기술을 적용하면 회로를 새기는 작업을 반복하는 멀티 패터닝 공정을 줄이면서 패터닝 정확도가 높아져 성능과 수율을 향상시키고 제품 개발 기간을 단축할 수 .. 기사보기



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