소식 중국산 포토레지스트 공급 시작

뉴스봇
조회 수 187
2021.06.11. 11:10

○남대광전 포토레지스트 국산화 실현, 중국 최초 - 11일 남대광전이 불화아르곤(ArF) 포토레지스트 25톤 생산라인에 ASML EUV 노광장비 등을 세팅해 이미 가동을 시작했다고 밝혔음. - 품질검사용 노광장비 등의 측정장비는 수입했고 주요 원재료는 자체 개발 및 생산, 생산장비도 국내 기업이 공동으로 개발, 제조해 공급 리스크가 전혀 없다고 함.

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