슈퍼사이클(장기적 호황)에 진입한 반도체 업체들이 생산량을 공격적으로 늘리는 가운데 온실가스 배출량이 증가하는 게 업계의 고민으로 떠오르고 있다. ESG열풍에 맞춰 온실가스를 덜 배출하는 공정에 대한 관심도 높아지는 추세다. 이에 따라 반도체 제조공정에서 발생하는 각종 유해가스를 정제하는 '스크러버' 장비에 대한 수요도 늘어날 것일한 관측이 나온다.


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