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Railgun

미니 삼성전자, EUV 공정 필수품 '펠리클' 직접 개발한다

  • Railgun
  • 조회 수 801
  • 2021.10.12. 12:32

삼성전자가 극자외선(EUV) 공정 필수품으로 꼽히는 '펠리클'을 자체 개발한다. 초미세 반도체 제조에 사용되는 EUV 공정 경쟁력을 강화하기 위한 전략으로 이미 상당한 수준의 기술력을 확보한 것으로 나타났다. ASML과 미쓰이화학, 에스앤에스텍, 에프에스티 등이 참여 중인 펠리클 시장에 삼성전자가 경쟁사로 등장했다.

6
댓글
4
폴드삼을쓰는겁니다 S23U까지버텨야할지도? 님께
2021.10.12. 16:56

이제와서 했겠습니까 허허

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