소식 램리서치, 삼성 3nm GAA 공정에 최첨단 식각장비 공급

뉴스봇
조회 수 364
2022.02.10. 15:05

램리서치가 차세대 트랜지스터 구조인 GAA(게이트-올-어라운드)를 지원하는 고선택비 식각 제품군을 출시했다. 해당 장비는 삼성전자의 최선단 공정인 3nm GAA 공정에 도입됐으며, 생산은 램리서치의 국내 생산거점인 램리서치매뉴팩춰링코리아가 담당하는 것으로 알려졌다.

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