(버닝크 CEO는) "수요곡선을 보면 (생산량 증가가) 충분치 않으며 생산 능력을 50% 이상 끌어올려야 하지만 그러려면 시간이 필요하다"면서 "ASML의 생산 능력을 확대할 방안에 대해 검토했지만 아직 필요한 투자 규모에 대해 확정하지 못했다"고 덧붙였다.

ASML의 새 공장이 2024년 전에 가동되지 않을 것이므로 EUV 노광 장비를 만드는 데에도 시간이 더 많이 걸릴 것이라는 뜻을 우회적으로 드러낸 것으로 풀이된다.

기술 수준에 따른 여러 종류의 노광 장비 중에서도 EUV 노광 시스템은 ASML 점유율이 100%다.