올해 말까지 네덜란드 ASML의 EUV 노광장비는 약 180대 가량 공급될 것으로 보인다. ASML의 EUV 장비 생산 대수는 2019년 연간 22대에서 2020년 32대, 2021년 42대, 올해는 50대 이상으로 늘어날 전망이다. 삼성전자, TSMC, 인텔 등 주요 반도체 기업들이 EUV 장비 도입에 나서면서 본격적인 ‘EUV 시대’가 열리고 있다.특히 업계 초미의 관심사인 하이(High)-NA EUV 장비 초기 버전이 내년 말 도입돼 2025년 말 본격 상용화 될 것으로 관측된다. EUV 관련 레지스트나 펠리클, 마스크 등 소


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