[특허소송에 발목잡힌 반도체]
韓 PSK, 장비 개발 성공하고도
美 램리서치 소송에 납품 차질
해외기업 6곳 국내특허 1년새 31%↑

국내 반도체 장비 기업인 피에스케이(PSK)는 지난해 반도체 제조 과정에서 불량률을 크게 낮춰주는 장비를 국산화하는 데 성공했지만 돌연 특허소송에 휘말려 납품을 제대로 못 하고 있다.

이 회사가 개발한 장비는 반도체 핵심 재료인 얇은 원형 판 모양 웨이퍼 가장자리의 불필요한 부분을 제거하는 ‘베벨 에처’다. 불량률을 낮춰 수율을 높여주는 핵심 장비다. 수율은 반도체 제조 공정에서 가장 중요한 요소 중 하나다.

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