“올해 말까지 ASML EUV 노광장비는 약 180대 가량 출하될 것으로 보인다. ASML의 EUV 장비 생산 대수는 2019년 22대에서 2020년 32대, 2021년 42대, 올해는 연간 50대 이상으로 내년에는 더욱 늘어날 전망이다. 하이(High)-NA EUV 장비는 초기 버전이 내년 말 도입되며 양산형 모델은 2024년 말 혹은 2025년 초 출시될 예정이다.”

이명규 ASML코리아 이사는 8일 《디일렉》이 주관한 ‘2022 반도체 EUV 생태계 글로벌 컨퍼런스’에서 이같이 말했다. 

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