“광학기술의 발전은 초기 리소그래피 시스템에서 현재 EUV에 이르기까지 무어의 법칙을 실현하는 핵심 원동력이었다. 칼자이즈는 10년 넘게 반도체 광학 분야 차세대 혁신을 위해 노력했으며 그 결과 High NA EUV를 실현할 수 있었다.”매튜 윌슨 칼자이즈 전무는 8일 《디일렉》이 주관한 ‘2022 반도체 EUV 생태계 글로벌 컨퍼런스’에서 이같이 말했다. 흔히 네덜란드 ASML을 가리켜 ‘슈퍼을’이란 표현을 쓴다. 장비를 납품하는 협력업체지만 반도체 생산기업도 눈치를 볼 수밖에 없다는 점 때문이다. 그런데 ASML이 의지하는 ‘슈


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