[디지털투데이 석대건 기자] 반도체 업계가 2나노 이하 초미세화 반도체 양산을 위한 기술 개발과 생산 설비 투자를 확대하고 있다. 이에 EUV 장비 수요가 급증할 것으로 예상되는 가운데, 포토 공정 내 노광 과정에 필요한 EUV펠리클 시장이 주목받고 있다.글로벌 반도체 파운드리 업체들이 2나노 이하 초미세화 반도체 양산 속도전을 진행 중이다.


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