▶ 양향자 : 테스트 런도 많이 돌리고 보통은 리서치를 하기 위해서 여러 런들도 돌려서 공정을 많이 진행하는데 지금은 딱 필요한 공정 진행에 PR을 쓰고 있고 그리고 최대한 지금 일본이 수출을 안 하겠다고 하는 것은 아니기 때문에 최대한 수입을 하겠다는 그런 요청을 보내고 확보를 하려고 열심히 지금 뛰고 있는 걸로 보고 있습니다. 

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삼성에서는 아직 소규모 양산 단계인 만큼 국제 정세가 안정화할 때까지 'EUV 포토레지스트 절약'을 최우선으로 하면서 대안을 찾고 있는 것으로 알려졌다.

한 업계 관계자는 “포토레지스트 도포는 ㎜ 단위로 얇게 하는데 구매할 때는 갤런 단위로 사기 때문에, 공정 조율로 재료 낭비를 최소화하면 장기간 쓸 수 있다”고 말했다. 일례로 포토레지스트 도포를 위한 웨이퍼 회전을 최소화하는 방법이 있다. 또 “유효 기간이 조금 지나더라도 공정 조율로 극복할 수 있다”고 덧붙였다.

https://news.naver.com/main/read.nhn?mode=LSD&mid=sec&sid1=104&oid=056&aid=0010729286

http://www.etnews.com/20190802000250

한 줄 요약 : 아껴쓴다