중국 윈난성(云南) 쿤밍귀금속연구소(昆明金属研究所)가 귀금속 스퍼터링 타겟을 개발해 미국의 유명 반도체 업체에 납품했다고 윈난성 정부가 최근 밝혔다. 윈난성 과학기술청은 "귀금속 스퍼터링 타겟 제조는 일본, 미국, 독일 등 일부 선진국이 독점하던 기술"이라면서 "그 독점을 깼다"고 했다.윈난성과학기술청(云南省科学技术厅)에 따르면, 이번에 개발에 성공한 스퍼터링 타겟은 니켈-백금(NiPt), 코발트-크롬-백금-붕소(CoCrPtB), 루테늄(Ru), 코발트-크롬-백금-실리카(CoCrPt-SiO2) 등이다. NiPt와 CoCrPtB 제조


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