지난 19일 중국 장쑤성(江苏) 우시공장에 네델란드 반도체 장비업체 ASML의 최신 DUV(Deep UV, 심자외선) 노광장비 NXT2000i를 반입했다고 현지 언론 아이지웨이(爱集微)가 보도했다. 아이지웨이는 반입식 사진과 함께 "중국에 처음 들어온 장비"라고 전했다.ASML는 올해 2분기 컨퍼런스콜에서 이 장비의 출하시작을 알리며 "EUV(Extreme UV, 극자외선) 장비와 함께 사용해, 5·7나노미터(nm) 로직 노드(node)에서 2.5나노미터 수준의 생산 오버레이(on-product overlay)가 가능하다"고 했다.


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