반도체 질량유량제어기(MFC:Mass Flow Controller)가 주력인 엠케이피가 MFC 시장에서 외국기업과 본격 경쟁에 나선다. 까다로운 식각 공정에서도 사용할 수 있는 압력식 MFC를 개발해 선도업체를 추격하겠다는 전략이다.엠케이피 압력식 MFC인 MARU 9000 시리즈는 반도체 공정 미세화에 적당한 제품이다. 기존의 열식 MFC보다 제어 속도가 빠르고 정확도 역시 높다. 반도체 공정에서 사용자가 원하는 질량유량을 제어할 수 있어, 극소량의 유량을 정밀 제어해야 하는 식각 등 초미세공정에 적합하다.국내 MFC 시장에선 미


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