특수 케미컬·첨단 소재 솔루션 기업 인테그리스는 16일 수원 광교 한국기술센터에 반도체 화학기계연마(CMP) 슬러리 필터 테스트 장비를 도입했다고 발표했다. 인테그리스는 한국기술센터에서 반도체 필터 테스트와 첨단 증착 등 소재 연구를 하고 있다.인테그리스는 이번 장비 도입으로 반도체 공정에서 사용하는 모든 종류의 케미컬, 솔벤트 및 CMP 슬러리 필터 테스트 장비를 갖추게 됐다고 설명했다. 아울러 국내 주요 벌크 슬러리 제조사 및 반도체 고객사와 함께 POU(point-of-use) 필터 공동 평가를 성공적으로 완료했다고 강조했다.


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