[디지털데일리 김도현기자] 삼성전자가 첨단공정 전환속도를 올린다. 경기도 평택캠퍼스에는 ‘2공장(P2)’과 극자외선(EUV) 라인 ‘P-EUV(P3)’가 세워지고 있다. P2와 P3는 올해 하반기 가동 예정으로, 첨단 D램이 생산되는 곳이다.

8일 업계에 따르면 삼성전자는 평택 신공장에 반도체 장비를 투입하고 있다. 최근 테스, 엘오티베큠 등은 삼성전자와 장비계약을 체결했다고 밝혔다.

반도체 공장은 ‘건물 설립 – 클린룸 설치 – 장비 투입 – 시제품 생산 및 테스트(시험 가동) - 고객사 납품 칩 양산’ 순으로 구축된다. 지난 2월24일 신성이엔지가 클린룸 공사를 시작했고, 지난달부터 장비 입고가 시작된 것으로 보인다. 클린룸은 천장과 바닥에 설치된 필터를 통해 미세입자를 제거하는 공간이다.

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