특허청은 한국‧미국‧중국‧유럽‧일본 등 주요 5개국에서 2001~2020년까지 출원된 특허를 분석한 결과를 18일 공개했다. 분석 결과에 따르면, 지금까지 반도체 미세화 공정기술의 주력이었던 핀펫기술 특허는 2017년부터 하락세로 전환했고, GAA기술 특허가 증가세를 보였다.

[표 = 특허청]

 

핀펫기술은 2017년 1936건으로 정점을 찍은 이후 지난해 1508건(예상치)까지 줄었다. 반면 GAA 관련 특허는 매년 30% 가까이 증가세를 보이고 있다.


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