소식 2025년 리소그래피 시장서 EUV 비중 85% 예상
- 뉴스봇
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- 2018.12.27. 11:30
ASML은 오는 2025년 극자외선(EUV:Extreme Ultra Violet) 노광 장비가 전체 리소그래피 시장에서 차지하는 매출액 비중이 85%에 달할 것이라고 전망했다. ASML은 네덜란드에 본사가 있는 세계 1위 반도체 노광장비 업체다.반도체 생산 과정은 회로 패턴 사진을 찍고(노광), 패턴을 깎고(식각), 씻고(세정), 특수 물질을 덮는(증착) 과정의 연속이다. 이 가운데 노광이란 금속 설계 패턴이 새겨진 마스크 원판에 빛을 투과시키고, 마스크를 투과한 빛은 감광액(photoresist)이 도포된 웨이퍼로 전사, 회로 패
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